在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面。以达到清洗目的。
　   等离子清洗机清洗原理： 
　　1.激(活)键能，交联作用
　　等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激(活)了表面活性。
 　　2.对材料表面的刻蚀作用--物理作用
　　 等离子清洗机中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清(除)了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
　　3.形成新的官能团--化学作用
       如果放电气体中引入反应性气体，那么在活(化)的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明(显)提高材料表面活性。

       我们都知道，散热的方式大致有四种：辐射、传导、对流、蒸发。对于真空等离子清洗机的反应腔本体、电极板、托架以及附件的散热，主要是靠传导散热和辐射散热，少量的对流散热。
　　1. 真空等离子清洗机的反应腔室本体一般都是铝或不锈钢的材质，电极板基本上采用铝合金，这两部分在等离子体处理产品的时候吸收了大量的热，不加配套设施的情况下，就会以传导的方式和热射线的形式散发给周围温度较低的物体，例如机台紧固件、外壳和低温空气中。
　　改善措施：给电极和反应腔室增加冷却系统，例如电极采取蛇形管贴附或者中通冰水的方式，可以大大改善散热效(果)。
　　2. 真空状态下气体往往以扩散方式进行，很难形成对流;真空等离子清洗机腔室内的热量，由真空泵带走的也是比较有限。
　　改善措施：加(大)进气量或提高抽速，但要考虑放电的真空度和等离子处理效(果)。
　　其他方面，等离子发生器的选型、功率大小的设定、真空腔室大小和电极结构的设计等，对于散热问题的改善也是有帮助的。