1.真空电磁阀
真空等离子清洗机在工作时需维持工艺要求的真空度及真空腔体的密封，因此其连接腔体的各气路阀门必须满足真空密封要求，一般选择相匹配的带气路控制的真空电磁阀。真空等离子清洗机为保证运行稳定性，因此都是一个真空电磁阀控制一路气体，所选用的真空电磁阀都是两位两通式的。
2.气动球阀
真空等离子清洗机的进气量是由流量计所控制的，它的工作原理是通过调节通入气体阀门的大小来实现通流量的控制，等离子清洗机使用的流量计分为气体浮子流量计和质量流量控制器(MFC)两种。气动球阀具有高真空密封、耐腐蚀、口径大等特点，所以当真空等离子清洗需通入特殊单体时会被应用于气路控制中。根据实际使用需求选用两通式或三通式。
气体浮子流量计是通过手动调整开启阀门的大小来实现气体流量控制，阀门开启后会受气体压力变化、震动等多因素影响而造成实际通入气体流量浮动范围大，不适用于对工艺气体流量要求严格的等离子清洗机。
质量控制器一般都是自动对工艺气体的质量流量进行精密测量和控制，保证等真空离子清洗机处理工艺的稳定;对于部分腐蚀性气体或其他特殊气体也可以实现准确的控制。
3.止逆阀
止逆阀又称止回阀，在气路控制中主要是防止气体回流，起到保护气路控制部分其他器件和防止相互反应气体汇合的作用。使用时需注意其标注的气流方向。真空等离子清洗机通入的气体通常都是洁净度相对较高的工艺气体，因此气体调压及处理组件基本结构多为调压阀和过滤器组成。它的主要作用是将气压控制在所需要的压力范围内及过滤气体中可能含有的杂质，以此来保障后端流量计等组件的运行稳定性和气体洁净度。目前真空等离子清洗机的常用的气体调压及处理组件按结构特点可以分为组合式和一体式两种形式。
