除了气体分子、离子和电子之外，在等离子体中还存在中性电性原子或原子团，这些原子团受到能量激发态的激发，它们是自由基，也是等离子体发出的光，在这些电性原子间的波长、能量的高低对等离子体与物体表面的相互作用起着重要作用。
自由基如原子团与物体表面反应。
      离子体中的自由基电性强，存在时间长，比离子体多。在等离子体中，自由基是挥发性很强的，它的作用主要是在化学反应过程中能量传递的活(化)，在激发态下自由基能量很高，易于与物体表面的分子结合，形成新的自由基。此外，当自由基与物体表面分子结合时，会释放大量的结合能量，这将产生新的表面反应推动力，从而消(除)物体表面物质之间的化学反应。

电子与物体表面的作用
      由于电子与物体表面的碰撞，会促使吸附在表面的气体分子分解解吸，而电子的大量碰撞则有利于产生化学反应。因为电子质量很小，所以比离子的移动速度要快得多，在等离子体处理过程中，电子比离子早到达物体表面，使表面产生负电荷，有利于引起进一步的反应。
离子与物体表面的作用
      通常指带正电荷的阳离子的作用，它会加速冲入带负电荷的表面，这就是我们所说的，使物体表面获得相当大的动能，以撞击除去表面附着的颗粒状物质，这种现象叫做溅射，而且通过离子的冲击力，物体表面发生化学反应的几率会大大增加。
紫外性与物体表面的反应
      UV具有很强的光能量，能够破坏和分解附在物体表面的分子键。此外，紫外线具有很强的渗透性，可以通过物体表面深度达到几微米。总之，等离子清洗是利用等离子体内各种高能物质及活(化)作用，将附着于物体表面的污垢彻底剥离除去。