真空等离子清洗机广泛应用于清洗、刻蚀、等离子喷涂、等离子喷涂、表面修饰等领域。经处理后，可增强材料表面的润湿性，使多种材料可对其进行涂覆等运作，增强粘合力、粘合力，与此同时除去有机污渍、油渍或油污。真空等离子清洗机通过凭借以上活性部分的性质对供试品表面对其进行处理，从而达到清洁等目的。本产品可用于清洗、腐蚀、激活、表面处理等。同固体、液体、气体一样，等离子体是物质的一种状态，也称为物质的第四态。施加足够的能量，使其离化，即为等离子态。电浆的“活性”部分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理机凭借以上活性部分对供试品对其进行表面处理，达到清洗、改性、雕刻等目的。
该真空等离子清洗机的构造主要是由三大部分构成，对应为控制模块、真空腔和真空泵。

1.控制部件。
国产真空等离子清洗机，有国外进口，控制模块主要是分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏四种。它的控制器分为两大部分：
1)主机电源部分：有3个处理器主频，对应为40KHz、13.56兆赫兹、2.45GHz，这当中13.56兆赫兹需要主机电源匹配器。
2)系统控制部分：分三类，按钮控制(半自动、全自动)，电脑控制、PLC(LCD触摸屏控制)
2.真空腔。
真空室主要是分为两种材料：
不锈钢真空腔。
2)石英腔。
3.真空泵。
真空泵分为两类：
1)干燥泵。
2）油泵。
       真空等离子清洗机/蚀刻机的制造设备设置2个金属电极，使封闭器皿中的2个金属电极产生电磁场，用真空泵使气体的真空度变薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离变长，从而产生等离子体，这些离子的活性很高，能量会破坏大部分化学键，在暴露的任何表面都会引起化学反应，不同气体的等离子体具有高的化学性质，如氧等离子体具有高的氧化性，能使等离子体产生较好的清洁作用，具有较好的各向异性，能满足腐蚀标准。用等离子处理时产生的发光现象称为辉光放电处理。
      近年来社会经济的快速发展和群众生活水平的增强，对生活必需品品质的标准愈来愈高，等离子体技术也进入了生活必需品制造业；此外，近年来科学技术的不断快速发展，各种技术问题的不断提出，新型材料的层出不穷，愈来愈多的科研院所意识到等离子体技术的重要，并投入大量资金研究其技术，其中等离子体技术起着非常重要的作用。相信真空等离子清洗机技术的应用将会愈来愈广泛，技术成熟，成本降低，其应用将更加普及。