等离子设备主要是利用汽体电离生成等离子，这其中带有电子、离子、官能团和紫外线等高能成分，对材料表面起到（活）化目的。举例来说，电子质量小、移动速度快，能够先一步到达材料表面并使其带上负电荷，同时对材料表面生成冲击目的，能促使在表面上被吸附的汽体分子解吸或分解，也有利于引发化学反应；材料表面带负电荷时，带正电荷的离子会加速向其冲击，溅射目的会干扰表面附着的粒子性成分除掉；等离子中官能团的存在对除污目的很重要，因为官能团容易与物品表面发生化学连锁反应，生成新的官能团或进一步分解，分解为挥发性小分子；而紫外线具有极强的光能和穿透能力，在材料表面利用数微米深度目的，因而使表面附着物质的分子断裂分解。

(1)电离气压:相对于低压等离子，电离气压增高，等离子密度升高，电子温度（降）低。等离子设备的除污功能与密度和电子温度有关。如果密度越大，清洗速度越快，电子温度越高，除污功能越好。所以，低压等离子设备除污工序的选择是很重要的。
(2)蒸汽的种类:被清理对象的基材及其表面污染物具有多样性，但蒸汽电离引起的等离子的污染速度和污染功能大不相同。因此，应选择等离子工作蒸汽，如氧等离子设备处理表面的油污，并选择H2、Ar混合气体等离子等离子去除氧化层。
(3)电离功率:增强电离功率，增加等离子密度和活性颗粒能量，因而增强去污渍功能。举例来说，氧气等离子设备的密度与电离功率密切相关。
(4)接触时间：待除污材料在等离子设备中的接触时间对除污功能和等离子工作效率有重要干扰。较长的接触时间，除污功能相对较好，但工作效率较低。而且，过长时间的除污可能会损坏材料的表面。
(5)传动速度：相对于大气等离子设备除污工序，在清理大型的物品的时候会涉及连续传动问题。所以待除污物品和电极的相对运动越慢，清理功能就越好，但是过慢一方面会干扰工作效率，另一方面会干扰材料表面损伤，因而干扰清理时间延长。
(6)其它：等离子设备除污工序中的汽体分配、气体流量、电极的设定等主要参数也会干扰除污功能。所以要根据实际情况和除污要求，设定具体、合适的工序主要参数。
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