等离子清洗机为什么会产生辉光呢？原因就在于等离子清洗机在使用过程中，会使用不同的气体进行工艺处理。在低气压条件下,将一定的电压加到两个平板电极上即可形成辉光放电,是一种稳定的自持放电,其放电电流的大小为毫安数量级。等离子清洗机在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体变稀薄，分子之间的间距和分子或离子的自由运动的距离也越来越长，而后通过电场作用发生碰撞而形成等离子体。离子是没有方向性及规则性的，发生反应时离子不断抨击物体的表面使之产生相互碰撞，不同气体发出辉光颜色不同，是因为发生了不同的物理反应。利用等离子处理会发出辉光，又称之为辉光放电处理。

       辉光放电在两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并在此过程中堆积在两极附近形成空间电荷区 。又因为正离子的漂移速度远小于电子，所以正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区要大得多，让整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内。这也是辉光放电的显著特征，而且在辉光正常放电时，两极间电压不会随着电流的改变而发生变化。
       而等离子清洗机在使用过程中，会使用不同的气体进行工艺处理。不同气体中的能级均具有不同的能量转换，不同工艺气体显示了不同特点的发光，并因此产生不同特征的颜色。每种气体电子跃迁时发出的光波长都不一样，所以也就能够看到不同颜色的辉光了。当然你加(大)功率到一定程度看起来都是白光，因为光子太多了。等离子清洗工艺流程中使用的气体的典型颜色如下所述：CF4：蓝色SF6：淡蓝色SiF4：浅蓝色SiCl4：浅蓝色Cl2：浅绿色CCl4：浅绿色H2：粉红色O2：淡黄色N2：红色致黄色Br2：红色He：红色致紫色Ne：砖红色Ar：暗红色等离子清洗机产生的辉光颜色不仅可用于识别工艺气体，还可以用于定性评估工艺气体是否含有污染物。