型号：CRF-APO-R＆D-DXX

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：直喷式：1-6mm（Option）

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型号：CRF-APS-500W

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/13.56MHz

处理高度：1-8mm(MAX)

处理宽幅：120-2000mm(Option)

工作气体：AR+O2

型号：CRF-VPO-8L-S

外接电源：380V/AC,50/60Hz, 7kw

等离子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔体容量：80L(可定制)

腔体层数：8层(可定制)

工作气体：Ar、N2、H2、CF4、O2

型号：CRF-APO-500W-XN

外接电源：380V/AC,50/60Hz

等离子功率：10KW(Max)/ 40KHz(Option)

处理高度：3-8mm(MAX)

处理宽幅：120-1200mm(Option)

工作气体：N2/N2+CDA

型号：CRF- APO-500W-C/W-S (非标准定制)

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：4set*600W/25KHz(Option)

处理高度：5-15mm

处理宽幅：500mm(Option)

工作气体：Compressed Air(0.4mpa)

型号：CRF-APO-500W-C

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：2set*600W/25KHz(Option)

处理高度：5-15mm

处理宽幅：50-500mm(Option)

工作气体：Compressed Air(0.4mpa)