真空等离子清洗设备诞生在20世纪初，近年来已在众多高新技术领域中，占据了关键技术的地位。等离子清洗设备技术率先推动了电子信息行业的发展，特别是半导体和光电行业的发展。由于等离子清洗机在很多的行业中得到了广泛的应用，今天我们来谈谈真空等离子清洗设备该如何选择？在真空等离子清洗设备的选择上，主要从以下几个方面考虑。
一、腔体容量
1、工件容量：
       一般来说，真空等离子清洗机的分类主要是根据腔体的大小和腔体的材料来划分的，在选择腔体的大小时，首先要考虑的是工件的大小，也就是说，至少要能把工件放下，如果工件连放都放不下，再考虑其素也没什么意义。
2、生产能力：
       对于生产能力要求高的物品，必须根据生产能力选择腔体容量。腔体容量越大，每次加工处理的物品越多。如果生产能力要求不高，工件容量应优先考虑。在可降件的情况下，根据其生产能力计算出比较适合的腔体容量。

二、选择什么频率的真空等离子清洗设备。
       近年来较为常用的频率有40KHz,13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏压约为1000伏，13.56兆赫的自偏压约为250伏，20兆赫的自偏压较低。激发频率的机制各不相同。40兆赫的反应是物理反应，13.56兆赫的反应既有物理反应又有化学反应。20兆赫有物理反应，但更重要的是化学反应。
三、腔体材质选择
       近年来较为常用的腔材料有石英腔、不锈钢腔、铝合金腔等，石英腔温度低，不易发生反应。铝型材的优点:铝型材密度低，强度高，优于钢，加工性能好。铝具有良好的导电、导热和抗腐蚀性能。该材料具有良好的化学反应相容性，不容易产生金属污染、无污染等。

四、真空泵选择
       究竟是选用国产的还是进口的，是单级泵还是油泵，是单级泵还是双极泵，可根据客户的实际需求来选择每一台真空泵，这里就不多说了。
五、气路选择
       真空等离子体清洗设备都是两通道，但这不能满足所有的处理要求。如果需要更多的反应气体，气体通道应适当增加，这也是根据用户的实际需要选择多通道。
     以上是小编从五个方面来对真空等离子清洗设备该如何选择做了阐述。