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除气体分子、离子和电子外，等离子体中存在电中性原子或原子团(也称为自由基)，这些原子是受势能激发的，处于激发态的电中性原子团。其波长短，势能搞得紫外光在等离子体与材质外表面相互作用中具有重要作用。以下小编分别就等离子体的作用进行介绍。
原子团等自由基对材料外表面的反应，由于这些自由基具有电中性，在等离子体中存在时间较长，其数量比离子多，所以自由基在等离子体中起着重要作用。自由基的作用主要是化学反应过程中势能传递的（激）活，处于（激）活状态的自由基具有较高的势能，因此在与材料外表面分子相结合时容易形成新的自由基，新形成的自由基也同样的处于不稳定的高能量形态，分解反应的可能性很高，在变成小分子的同时形成新的自由基，这种反应过程可以继续进行，分解成水、二氧化碳等简单分子，在其他情况下，自由基与材料外表面分子相结合，形成大量的的相结合势能，这种势能又变成引起新表面反应的驱动力，进而引起材料外表面材质的化学反应而被去除。
电子对材料外表面的作用。材料外表面一方面受撞击作用，会促使吸附在材料外表面的气体分子被分解或吸附，另一方面大量的电子碰撞则有助于化学反应。因为电子的质量很小，所以比离子运动得更快。用等离子体处理时，电子到达材料外部表面层的时间早于表面层，并使表面层带负电荷，这有助于更进一步引起反应。
小编从微观上讲解了等离子体与材料外表面相互作用。
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