伴随着社会经济的发展，清洁技术也得到了不断的进步和革新，从以前的手工清洁发展到有（机）溶剂清洁、高压水射流清洁、超声清洗等。随着科技的飞速发展，本世纪初出现了一种新的清洁处理技术—-等离子清洗技术，这种等离子清洗技术技术已经在汽车制造、液晶玻璃、电路板、电镀、油污化学处理等领域得到广泛应用。

       等离子清洗技术处理流程中，清洗技术表明清洁（效）果彻底，表面处理稳定，难以清洁的部位得到有效清洁。等离子清洗机的工作原理主要是通过等离子中活性颗粒的（激）活来去除物体表面的污渍。
       从化学反应机制来看，等离子清洗技术一般包含下列流程:无机物气体被激发为等离子体；气相物理粘附在固体表层；粘附基团与固体表层分子发生化学反应，产生产物分子；产物分子分析成气相；化学反应残留物从表层分离。等离子体和材料表层的化学反应主要有物理反应和自由基反应两种。
等离子体表层的物理反应机理研究。
       等离子体与材料表层进行的物理反应，主要是纯物理功能，用离子将材料表层的原子或附著材料表层的离子击出，由于在压力较低时，离子的平均自由基较轻，有能量积累，因此，当物理碰撞时，离子的能量越高，越容易进行碰撞，所以要以物理反应为主，必须控制低压力下化学反应，这样清洁效果比较好。

       等离子体与材料表层进行的化学反应，主要是利用等离子体中的自由基与材料表层进行化学反应，在化学反应中常用的气体有氧、氢、CH4等，这个气体在电浆中化学反应成高活性的自由基，自由基的功能主要表现为化学反应流程中能量传递的“活化”，处在激发方式的自由基具有更高的能量，在与物体表层分子结合时会产生新的自由基，新产生的自由基同样处在高能量方式，很可能会进行分解反应，在转化成为较小分子的同时生成新的自由基，分解为H2O、CO2等简单分子。在这种情况下，释放出大量的结合能，从而产生新的表面反应驱动力，使物体表层的物质发生化学反应并被去除。
电浆清洁工艺特点和优点。
       等离子清洗技术的特点是无论处理对象的基材类型如何，对聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚四氟乙烯等金属、半导体和大多数聚合物材料进行良好的清洁处理，并能实现整体、布局和复杂结构的清洁。并没有受限的是处理物的几何形状。尤其对于形状复杂、精度高且难以清洁的物体表层零件，如精密零件表层的孔洞、凹槽、狭缝、微孔等表层形状，都可以进行较好的清洁。等离子清洗技术是固体气干清洁技术，以气为清洁介质，有效避免了介质清洁引起的二次污染。
        等离子清洗技术中的电浆清洗机外接真空泵，清洁室内的等离子体在工作中轻轻清洁被清洁物的表层，短时间的清洁可以彻底清洁有（机）污染物，同时用真空泵抽出污染物，清洁程度达到分子级。