大气等离子清洗机化学气相沉积金刚石膜实验形核研讨：
        使用该工艺制取的金刚石膜是1种有着大气等离子清洗机化学气相积累能力的工艺。由于薄膜金钢石在超硬维护涂层、光窗口、热沉信息、微电子等方面都有着重要意义，因而，当人类掌握了金钢石薄膜的制取工艺，尤其是单晶金钢石薄膜的制取工艺后，依靠信息的前史就会由硅材料年代迅速进入金钢石年代。可是，有关金刚石薄膜的机理还不非常清晰，尤其是突变性外延性单晶金钢石膜，这一难点在于：低温大气等离子清洗机处于热不平衡状态，所用反应气体也是多原子分子，反应体系复杂，缺少基础资料支持。可是，经过20多年的理论和实验研究，人们不仅开发了多种方法来制取金钢石薄膜，而且通过对实验数据的分析和总结，对影响金钢石薄膜生长的因素也有了一些了解。对于多晶金钢石膜的生长，成核是关键，而影响成核的因素很多，包括等离子体条件、基质信息、温度等。

       使用大气等离子清洗机化学气相沉积金钢石膜，首要要了解金钢石的成核过程，通常将其分为两个阶段：含碳量官能团抵达基材表层，然后分散到基材内部；第二阶段是抵达基材表层的碳原子在基材表层上以缺陷、金钢石子晶等为中心的成核、生长；因而，决定钻石形核的要素包括：
1.基材信息：由于形核取决于基材表层碳的饱和度和抵达核心的临界浓度，因而，基材信息的碳分散系数对形核有着重要影响。分散性系数越大，就越不易达到成核所需的临界浓度，铁、镍、钛等金属基材直接在这类信息上进行成核是非常困难的；而对于较低碳分散性系数的信息，如钨、硅等，钻石可以快速成核。
2.表层磨削：通常金钢石的形核都能通过金钢石粉末对表层磨削而推进。使用SiC,c-BN,Al2O3等信息进行的碾磨也能促进形核的形成。磨削能促进形核形成的机理主要有两点：一是经过磨削，金刚石微粉的碎屑留在基材表层，起到晶种作用；二是磨削能在基材表层产生许多微小的缺陷，这些缺陷是自发形核的有利方向。碾磨信息的格点常数越接近金钢石，增强形核的效果就越好，因而，通常的碾磨信息都是用高温高压法制取的金刚石微粉。
3.大气等离子清洗机基本参数：在金钢石形核早期，由于碳向基材的分散，在基材表层形成了界面层，因而研讨指出了等离子体基本参数对界面层也有重要影响，例如，当硅基材表层沉积金钢石膜时，甲烷浓度对SiC界面层的形成有直接影响。
4.偏压增强形核：在大气等离子清洗机化学气相沉积中，基材通常都是加负偏压，也就是说，基材的电位与等离子体的低电位有关。负偏压的作用是使基底表层离子浓度增加。偏压太高时，由于过多离子对基材外层和前驱核的溅射，形成了捺形核，因而在偏压增强形核时，偏压的大小更合适。