真空等离子（电浆）清洗机的维护和保养：

     第一，在进行任何维修或保养之前，所有相关的安全预防措施都应采取，而不限于本使用手册所述。要关闭设备电源开关，切断总电源保护器，关闭所有的煤气，准备必要的工具包。

     第二，真空腔与真空发生系统的维护。

     A、真空腔和电极板是处理工件的工作区域，当工件使用到一定时间后，腔体内仍有部分污物附着在电极板和腔壁上。处置方法：连续使用一个月后，用无尘布(纸)沾酒精清洗所有的电极板和腔壁，保持腔壁清洁。

     B、观察窗是指工作人员在工作时观察空腔内放电的窗口，在使用一段时间后，窗口玻璃表面产生的微蚀会使观察窗变得模糊。使用无尘布料(纸)，沾上酒精或丙酮，清洗玻璃或直接更换真空玻璃。

     C、真空泵中使用的油为防氧化专用油，及时更换对真空泵的正常工作有利，延长泵体的使用寿命，建议每隔三个月更换一次，要经常注意观察真空泵内的油量是否充足，油面若低于使用下限(油面计旁有明显标志)，应及时给泵注入新油，直至正常使用。

     真空泵油的具体更换步骤：

     为真空泵加油口打开注油塞(内六角扳手)；打开放油门上的放油塞子(注意旋钮开关方向)；安全地放油，此时测油仪内的油面将下降；清空泵内的油液后将排油塞拧紧；从加油口注入新的油，并加适量超出下限；用六角扳手紧固注油塞。注：替换时请注纯纯专用油，把泵里原来用过的油请放干净。员工换油时须戴胶皮手套、口罩。请将排放的废油妥善处理，并安全处置。泵排气口与油雾滤清器连接在一起，油雾滤清器可除去90%的真空泵排放的油雾，可防止对工作环境的污染，并可起到消音作用。滤下的油应从油槽中排出出本体，否则机油会在滤芯和本体之间积聚，从而造成油雾。

     一、滤芯过滤装置建议使用三个月更换一次。如果不排出废气，检查滤芯是否堵塞，必要时更换滤芯。电浆为高频器件，涉及频率漂移等问题，使用时应在2年左右调整一次，客户要确定好时间后与我们联系，返厂进行校正调整。为确保真空密封的可靠性，设备密封在18个月内更换一次，此后每隔18个月更换一次。真空等离子清洗机消耗品清单：

     (1)真空腔：真空腔主要分为两类：1)不锈钢真空腔；2)石英腔。

     是否比较了真空等离子清洗和传统清洗？

     其次，整个处理过程没有污染。血浆清洗机本身是非常环保的设备，不会对环境造成任何污染，处理过程也不会造成污染。

     接着，处理效率高，可以在线全自动生产。等离子体清洗，只要对样品表面进行处理，一般在2S内即可达到效果。可与原生产线配套，实现全自动在线生产，节省人力成本。处理效果是稳定的。等离子体清洗处理效果非常均匀、稳定，常规样品处理后长期保持效果良好。

     真空式等离子处理系统设备参数：

     射频电源功率（RF Power）：600W/13.56MHz。

     (2)真空泵：有多种类型的真空泵，其选用都会根据用户真空度、体积要求进行配置。

     作为一种重要材料表面改性方法，真空等离子清洗在许多领域得到了广泛应用。同超声清洗、UV清洗等传统清洗方法相比，小型真空等离子清洗机具有以下优点：

     先处理温度较低。加工温度可低至80℃，温度在50℃以下，加工温度较低，可保证样品表面无热损伤。