等离子清洗设备应用其不带电的离子去除静电场：
       LCD的COG拼装环节，是把裸片IC贴片到TO玻璃上，使用金球的压缩与变形来让ITO玻璃上的引脚与IC上的引脚通断。鉴于精细线路技术的不断发展，现在已经发展成生产Pitch为20um、线条为10um的产品。这类精细线路电子产品的生产与拼装，对TO玻璃的光洁度要求比较高，要求产品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有机与无机的物质残留在ITO玻璃上来阻止TO电极端子与ICBUMP的导通性，因此，对TO玻璃的清洁显得很重要。在现在的ITO玻璃清洁工艺中，很多人都在尝试通过各种清洗剂（乙醇清洗、棉签＋柠檬水清洗）进行清洗，但由于清洗剂的引入，会造成鉴于清洗剂的引入而带来其他的相关问题，因此，探索新的清洗方法成为各厂家的工作方向。根据逐渐的试验，使用等离子清洗的原理来对ITO玻璃进行表面清洁,是比较有效的清洗方法。

       对其液晶玻璃进行的等离子清洗中，使用的活化气体是O等离子体，它能除去油性污垢和有机污染物粒子，因为氧等离子体可将有机物氧化并形成气体排出。它的唯壹问题是需要在去除粒子后加入一个除静电装置，其清洗工艺如下:
吹气—O等离子体除静电.
       电子产业对高自动化程度的需求，需要采用高可靠性、高生产效率和处理效果的在线式表面处理工艺。超精细常压等离子体清洗设备和等离子体激活等离子体工艺为电子工业带来了有效的解决方案。在喷涂设备上进行防静电和防刮伤的喷涂之前，先要对塑料视窗部分进行等离子处理。由于等离子清洗技术的应用，可以提高材料的表面，所以涂层分布更加均匀。等离子清洗设备不仅创造了无可挑剔的产品外观，而且大大降低了生产过程中的废品率。