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20年专注等离子清洗机研发生产厂家
在太阳能电池制备中plasma等离子清洗表面钝化和减少死层的影响：
一、plasma等离子清洗表面钝化
在太阳能电池制备过程中，考虑到切割过程的存在，要在电池表面生成悬挂键。悬挂键有着捕捉光生载流子、限定光电流的作用，是太阳能电池能量损失较大的一种方式。等离子体技术可以用氢离子修复钝化电池表面的悬挂键，使硅原子恢复到稳定的结构。
二、plasma等离子清洗降低死层的影响
在扩散区域，因为不活跃的磷原子处于晶格间隙，会导致晶格缺陷。因为磷和硅的原子半径不匹配，高浓度的磷也会导致晶格缺陷。因此，在硅电池表面，少数载流子寿命很低，表面吸收短波光子产生的光生载流子对电池光电流输出贡献不大，表面称为“死层”。“死层”存在是不可避免的，但有些方法可以用来降低“死层”影响。吹扫等离子技术可以使表面磷原子分布更加均匀，促进磷原子的正确定位，从而减少电池表面死层的影响。
plasma等离子清洗艺参数是等离子清洗技术处理的一大特点，使其具有良好的可靠性和再现性，尤其是在工业生产中。等离子技术技术有望在第3代太阳能电池中发挥重要作用。
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