大气压等离子体处理机说的是是可以在大气压或特定气压下激发气体电离并产生特定辉光等离子体的设备，也称为气压等离子体处理机和准辉光等离子体处理机。与丝状放电相比，准辉光放电等离子体更加稳定均匀，更适合大面积材料或产品的表面处理。

       大气压等离子体处理机形成准辉光放电，必须达到小的初始电子密度。如果要电离的电子密度足够大，就会产生大面积的准辉光，使得开始的崩塌头相互重叠合并，同时减少切向空间电荷的电场梯度。
       气体电离的强度受气体纯度、气体附着、剩余气体亚稳态、电子、离子等因素的影响。使用介质阻挡放电时，除介质表面的记忆电荷外，还可利用半个周期内的剩余粒子，利用合适的放电频率也能对整个放电体积产生记忆效应。
       另外，特殊介质对大面积均匀等离子体也有利。电介质表面可以积累相当数量的电荷。在高电压下，这些电荷可以均匀地束缚在介质表面。当电场改变极性并超过一定阈值时，电荷也被排斥离开表面，点燃高电流密度阻挡放电。在这种高电流条件下，每半个波形的单个电流峰只持续几秒钟；在正常的辉光放电条件下，氦放电3微秒，氮放电200微秒。
大气压等离子体处理机中电子的平均能量。
       应用等离子体化学时，电子常常需要较高的能量，电子能量较低，仅依据激振来输入交流电源，是不能进行反应，必须要达到反应条件。因此，提高高能电子在放电空问中的分布对于获得有效的等离子体反应速率很重要。

       根据研究，一般等离子体中的电子平均能量在1-10ev之间，高于10ev对离解和电离气分子的影响更好，而电子能量的大小常见与放电条件密切相关，如电极结构、功率和频率。
大气压等离子清洗机中的电离辐射。
       当等离子体发射时，电磁波将产生电离辐射。气体放电产生的等离子体常见伴有发光，其颜色与反应气体的种类有关。除发射可见光外，还会产生紫外线和X射线本质上是电磁波。等离子体电离辐射的主要是源于是等离子体中颗粒运动状态的变化，尤其是电子体。除了束缚电子，还有自由电子可以连续改变动能。当其与其他粒子碰撞或受到其他外场影响时，它会改变运动状态，并随着能量状态的变化而发生跳跃电离辐射。
        在大气压等离子体处理机中，对等离子体电离辐射的研究很重要。一方面，大气压等离子体处理机电离辐射会释放能量，造成等离子体能量损失；同时，一些气体电离辐射也会激发光电离，从而有效激发反应系统；另一方面，等离子体电离辐射携带大量等离子体内部信息。依据对电离辐射频率和强度的研究或时间分析，可以诊断等离子体的密度、温度和粒子状态，获取反应过程的相关信息。
       大气压等离子体处理机中，等离子体常见有3个主要是的电离辐射过程，即刺激电离辐射、复合电离辐射和源电离辐射，而在大气压等离子体处理机中，等离子体的电子温度仅为1~10eV，因此，对电离辐射和复合电离辐射起着主要是的刺激作用。
       当被激发状态的粒子转移到被激原子的低激发状态或基体状态时，激发电离辐射是电离辐射。在辐射跃迁前后，电子激发电离辐射处于束缚状态，其电离辐射激发频率由两能之间的能量差决定。复合型离子化辐射是指自由电子被离子捕获后，合成低价格离子或中性离子发出电磁波的过程。电子在复合辐射跃迁过程中从自由状态转变为束缚状态。
        电离辐射是指等离子体中的带电颗粒在其它颗粒静电势场的作用下发生速度变化时，由动能变化引起的电磁辐射。在等离子体处理机中，电子速度远远大于离子速度，因此韧性电离辐射主要是由电子产生。由于离子电场的作用，自由电子靠近正离子时，电子的惯性运动被阻滞，从而产生电磁辐射，能量损失。在这个过程中，电子电离辐射后仍然是自由的，只是动能减少。
         从微观下看大气压等离子体处理机电离辐射产生辉光放电，从而形成等离子体。