小编翻阅一些关于设备清洗的传统工艺发现，不仅流程繁琐，而且成本高，清洗不（完）全，那么对比传统工艺，今天小编我就来谈谈等离子清洗工艺技术流程有哪几个方面，受哪些因素影响。
一、加热电极载物托盘介绍
       反应腔体设计为等离子清洗工艺常见的规则盒形，电极电容耦合平行载物托盘的加热采用耐高温电绝缘材料两片云母板中间夹常用电加热丝的方式。在已知为真空内加热电压及加热丝电阻的情况下，根据需求的较大加热温度及升温时间，计算出合理的加热功率和电流，并根据载物托盘的大小设计适合均匀的加热板图形，以获得均匀的加热，使得整个载物托盘加热区为有效区，可以尽可能多的放满产品或放大尺寸产品。

二、真空腔体四壁和门水冷介绍
       整个加热过程中腔体外壁及门进行水冷，水路设计弯路平滑过度，以尽可能地保证水流顺畅及冷水机的正常工作，并在外壁安装热传感器，温度超过设定（安）全值时，系统蜂鸣器报警，防止热辐射危及人身（安）全引起（烫）伤等，及影响设备其它组件的正常工作。后期加热改进预设计对于后期系统改进的加热方式升级，可以采用。
       石英加热管的红外热辐射方式，其电热转换效率高，使用时限长，且电源引线不用暴露于真空腔体及等离子清洗工艺区域内，以防止加热方式的过早疲劳损坏引起不必要的短路等隐患。加热温度可设置为较之前更高一些的温度，如300℃～400℃，耐温达800℃摄氏度。
       在成熟清洗工艺流程开始前，打开水冷机，设置温度值，及等离子处理工艺参数，从而控制等离子的强度与密度等;加热载物托盘无论正负极，放入产品后开始加热设定温度后停止加热;立即开始等离子清洗流程;根据处理（效）果调整温度及工艺参数，进行数次实验得出合适的加热温度及工艺参数。值得注意的是，温度及工艺参数设置要求一般是针对产品自身要求的，例如产品自身基材及附属材料的适宜耐热温度及热损伤，材料的物理化学性能

        在等离子氛围中是否容易被改变及氧化，等离子处理后的材料损伤等。后期系统改进后，将加热电压定在真空电压70V或110V内，这样进行等离子处理流程时负极可同时加热并控制整定温度，要求更（精）确时可在温控仪表上设定温度控制工艺曲线，用以更准确地得出清洗速度在不同温度下的速度温度曲线。
        温度是等离子体产生的极重要因素，太阳及太阳风(太阳日冕)、热核聚变就是典型的例子，研究不同温度下等离子清洗工艺系统内等离子的密度活性，处理速度及均匀性，可选择性地得到适宜的材料处理种类及厚度和处理后表面材料特性，并且不会对基材表面产生等离子损伤及热损伤，这项技术具有很大的实用意义。此方面应用需求将越来越大，尤其是持续发展与需求的半导体集成电路生产领域。
三、等离子清洗工艺的应用范围如下:
(1)机械工业:除掉防锈脂；清洁工具；机械零件去油去锈；发动机、化油器和汽车零件的清洁；过滤器和过滤器，网状疏通清洗等；
(2)表面处理相关行业:塑胶电镀前去油去锈；离子塑胶电镀前清洗；磷化；去清洗积碳；除掉氧化皮；除掉抛光膏；金属材料产品，表面促活等。
       以上就是小编总结的等离子清洗工艺技术流程和影响的因素。如有还疑问可以随时咨询官网哈。