真空等离子设备刻蚀处理后NGTi基TIO2薄膜使其亲水性增强：
        纳米晶体钛(NGT1)有着无毒、比强度大、低弹性模量良好的生物活性等优点，成为生物材料领域的一个研究热点。TIO2薄膜是一类优质生物活性材质，近些年渐渐代替羟基磷灰石涂层，后者因与金属植入材质结合力不良而限制其应用。
粗晶粒钛基TIO2薄膜相比，TIO2薄膜有着更加优异的生物活性和膜/基界面结合力，并且室温下在NGTi表面很容易获得单一金红石型TIO2薄膜。提升NGTI基金红石型TIO2薄膜的生物活性，扩大NGTI/TIO2复合材料在人工关节和骨创伤产品等领域的应用前景具有重要意义。

        高表面能的TIO2薄膜可以促进成骨细胞的发育。提升TIO2薄膜表面能的方法有离子掺杂紫外光照射、Ar等离子体清洗机等离子体表面改性等。Ar等离子体清洗机等离子体处理后，NGTi基TIO2薄膜变得非常致密光滑和平整，并且出现纳米级微坑。室温下NGTi表面能获得大量结晶状金红石型TiO2颗粒，而在普通基材(如玻璃硅片粗晶粒金属基)表面用磁控溅射技术制备的TiO2薄膜很难观察到这一现象。
        真空等离子设备对薄膜有着轰击刻饰和清洗效果，这使得TIO2薄膜表层的非连续和非致密的颗粒被Ar真空等离子设备清洗除去，留下平整致密和光滑的薄膜表面。Ar等离子体有着轰击刻蚀作用，可彻底地除去试样表面的有机污染物，因而提升T1O2薄膜的表面能;Ar等离子体处理后，TIO2薄膜表面的T14+减少并转化为T3+,将产生电子空穴对，空穴与金红石晶面的桥氧发生反应，产生氧空位。
       真空等离子设备处理后TIO2薄膜会引进氧空位，水分子会中和这些氧空位，产生OH基团，遂提升了TIO2薄膜的亲水性。Ar等离子体处理显著改善NGT基TiO2薄膜的亲水性。