等离子体清洁机产生的电子、离子和自由基在金属表面清洗过程中的作用：
一、CRF等离子体清洁机产生的电子在金属表面清洗过程中的作用
       在等离子体清洁机中，电子与原子或分子之间的碰撞会产生激发态中性原子或原子团（又称自由基），激发态原子或自由基与污染物质分子发生活化反应，使污染物质脱离金属表面。当电子输送到表层清洁区域时，与被清洁表层吸附的污染物质分子发生碰撞，会促使污染物质分子分解，产生活性自由基，有利于进一步激活污染物质分子；而且，质量小的电子比离子运动快得多，所以电子比离子早到达物体表层，使表层有负电荷，有利于进一步激活反应。

二、等离子体清洁机离子在金属表面清洗过程中的作用
       一方面，阳离子被物体表层的负电荷加速，获得巨大的动能。纯物理碰撞会剥离附着在物体表层的污垢；另一方面，阳离子的冲击也可以增加物体表层污染物质分子发生活化反应的概率。
二、等离子体清洁机产生的自由基在金属表面清洗过程中的作用
       一般来说，等离子中自由基的数量多于离子，呈电中性，使用寿命长，能量大。在清洗过程中，表层污染物质分子容易与高能自由基结合，产生新的自由基。这些新的自由基也处于高能状态，极不稳定，容易分解成小分子，同时产生新的自由基。这个过程将继续进行，直到分解成稳定挥发的简单小分子，最终将污染物质从金属表面分离出来。在这个过程中，自由基的主要作用是活化过程中的能星传递。在自由基与表层污染物质分子结合的过程中，会释放出大量的组合能量，释放出来的能量作为促使表层污染物质分子新活化反应的动力，有利于污染物质在等离子的活化作用下更彻底地去除。