型号：CRF-VPO-8L-M

外接电源：380V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔体容量：80L(可定制)

腔体层数：8层(可定制)

工作气体：Ar、N2、H2、CF4、O2

型号：CRF-VPO-8L-M

外接电源：380V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔体容量：80L

腔体层数：8

处理气体：Ar、N2、H2、CF4、O2

型号：CRF-APO-RP1020-D

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：600-1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：旋喷式：20-80mm（Option）

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型号：CRF-APO-500W-W

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：2set*1000W/25KHz(Option)

处理高度：5-15mm

处理宽幅：50mm-500mm（Option）

工作气体：Compressed Air(0.4mpa)

型号：CRF-APO-IP-XXHD

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：800W*4set/ 25KHz

处理高度：5-15mm

等离子喷枪数量：4(MAX)

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型号：CRF-APO-R&D-XXXHD

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：600-1000W20KHz(Option)

处理高度：5-15mm

处理宽幅：旋喷式:20-80mm(Option)

工作气体：Compressed AIR (0.4mpa)/N2(0.2mpa)