等离子体中存在以下物质。高速运动的电子；激活的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子原子和分子；分子分离反应过程中产生的紫外线；未反应的分子、原子等。但物质仍然保持电中性。
      除气体分子、离子和电子外，在其体内还存在电中性原子或原子团，它们受能量的激发状态所激发而形成自由基，并由它发出光，其中，波的长度、能量的高低在它与物质表面相互作用时起着重要作用。由于这些自由基是电重型的，寿命长，离子体的数量比离子多，自由基在等离子体中起着重要的作用，自由基的作用主要表现在化学反应过程中能量传递的“活化”作用，激发状态的自由基具有高能量，因此容易与物体表面分子结合形成新的自由基，新形成的自由基也处于不稳定的高能量状态，发生分解反应的可能性高，成为小分子的同时产生新的自由基另外，在自由基与物体表面分子结合的同时，释放出大量的结合能量，这种能量引起了新的表面反应推进力，从而消除了物体表面的物质发生化学反应。
       

      一方面，电子对物体表面的冲击可以促进对物体表面吸附的气体分子的分解和解除，另一方面，大量的电子冲击有利于化学反应。因为电子的质量非常小，所以比离子的运动要快得多，所以当等离子体处理时，电子到达物体表面的时间比离子早，并且使表面带负电，这有利于引起进一步的反应。
通常指带正电荷的阳离子的作用，阳离子有加速冲向带负电荷表面的倾向，在这种情况下，物体表面获得相当大的动能，足以去除附着在表面的粒子性物质，我们称之为溅射现象，通过离子的冲击作用，物体表面的化学反应
      紫外线具有很强的光能，可以断裂和分解附着在物体表面的物质的分子键。另外，它还具有很强的渗透性，能穿过物体表面达数微米深。
      综上所述，可以看出，等离子体清洗是利用等离子体的各种高能物质和活化作用，彻底剥离和去除附着在物体表面的污垢。