等离子体技术作为一种高(效)、可控的改性方法，可以有效改善环氧填料的电气性能。采用大气压低温等离子体技术对微米AlN填料进行氟化处理，控制不同的氟化时间，测试改性后的环氧树脂试样的微观形貌、化学组分、电荷特性及沿面闪络特性。
        等离子体氟化45min后，填料平均粒径降(低)26%，填料氟化45min，氟元素占比达到38.55%。随着氟化时间增加，环氧树脂样初始积聚电荷量降(低)，闪络电压呈现先增加后降(低)的规律，在对填料氟化45min时，闪络电压提(升)很明(显)，较未氟化填料提(升了约39.9%，两参数韦布尔分布表明闪络电压分散性也有所降(低)。等离子体填料处理提(升)环氧树脂电气性能的可行性，处理方法高(效)稳定，性能提(升)明(显)，为AlN及其他填料的改性提供了新的研究思路。

        对绝缘材料配方体系的改性，可以从源头处提(升)绝缘子性能，因此大量的学者通过在绝缘材料中添加无机填料的方法，进一步提高材料电荷消散率，综合改善聚合物的绝缘性能。AlN作为一种新型无机填料具有高导热性、热膨胀系数低等众多优点，受到国内外学者的广泛关注，研究表明，添加微米AlN后的环氧树脂不仅提高了导热率，同时力学性能也有所(提)升。但相比传统的Al2O3等填料，添加AlN后的环氧树脂绝缘性能有所下降，限制了AlN在环氧树脂配方填料中的应用。
        结合大气压低温等离子体技术高(效)节能、设备简单、操作简便、控制性强、产量高等优点，采用介质阻挡放电的形式，在大气压环境中对微米AlN填料进行等离子体氟化处理，通过扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM）、X射线光电子能谱分析（X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS）、傅里叶红外光谱（Fourier Transform Infrared, FTIR）分析添加改性微米填料后的环氧树脂的微观特征，研究改性后试样的电荷消散特性和闪络特性，寻求微米AlN填料的改性方法。