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20年专注等离子清洗机研发生产厂家
真空腔体里通入CF4可以做铁氟龙薄膜界面粘接性的等离子刻蚀机用：
铁氟龙微孔膜具有稳定的化学性能，耐高温、耐腐蚀，优良的抗水、疏油特性，对高温、高湿、高腐蚀以及高纯气体中的机液等均有良好的过滤性能，可广泛应用于冶金、化工、煤炭、水泥等行业的除尘过滤，是一类耐高温复合滤料的薄膜材料。不过它极低的表面活性、突出的不粘滞性使它很难与基材复合，从而限制了它的应用。等离子蚀刻机又称真空plasma刻蚀机机，平面蚀刻机，表面处理仪，plasma清洗系统等。
crf等离子刻蚀机是干法刻蚀中较常见的1种方式，其工作原理是暴露在電子区的气体生成等离子体，生成离子体并释放出由高能电子组成的气体，生成等离子体或离子，当离子体原子通过电场加速时，释放出的力足以紧贴材料或蚀刻表面，使之与表面驱动力结合。在一定程度上，等离子清洗实际上是等离子蚀刻过程中的一种轻微现象。干燥蚀刻处理设备包括反应室，电源，真空等部分。部件被送到反应室，气体被引入等离子体，并进行交换。 plasma的蚀刻过程本质上是1个活跃的等离子过程。近来，反应室里出现了1种搁置方式，使用者可以灵活地移动它来配置合适的等离子体蚀刻方法：反应性等离子体(RIE)、顺流plasma(downstream)和直接plasma(directionplasma)。
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