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20年专注等离子清洗机研发生产厂家
气流量的大小对清洗的影响较大，等离子清洗机在清洗中，要保持一定的真空度(0.1-0.2torr)才能产生辉光进行清洗，在0.1-0.2torr真空度下对于清洗的效(果)都是相同的。在真空度越低的状态下，相对的辉光较强。在清洗的过程中，需要随时将被清洗下来的污染物用真空泵抽走，同时也要随时补充干净的气体，为保持一定的真空度，进气与抽出的气体应该处于一种动态平衡的状态，如果进气量过大，对真空泵的要求就高，这样一来将浪费气体。另外，针对高要求的超清洗气源应先过滤，再输入plasma等离子清洗机的腔体，这时的气体流量也不可过大.
