支持材料 测试、提供设备 试机
20年专注等离子清洗机研发生产厂家
等离子清洁机对薄膜进行表面处理,提高薄膜附着力,近年来发现薄膜具有较优良的驻极化性能,鉴于它在硅集成电路工艺中的重要地位,人们希望薄膜能成为制备微型集成声传感器的(敏)感薄膜材料。有(机)聚合物驻极体材料具有良好的电荷储存稳定性,目前市场上销售的驻极体传感器绝大部分全是有机聚合物驻极体薄膜传感器。这类传感器使用时限长、膜型、价格低廉,但全是体积较大的分立器件,无法满足驻极体声传感器小型化、集成化的要求。
随着环境湿度的升高,薄膜的驻极化电荷容易丢失,薄膜具有良好的亲水性,薄膜表面电导率随环境湿度的升高而急剧增加,导致储存在薄膜及近表面上的驻极化电荷容易衰减,这是制约其发展的主要因素。借助等离子清洗机可改变材料的表面特性,如提高表面的抗腐蚀性、抗(氧)化性、抗磨损特性等。
现在有了一种新的快捷、方便的物理处理方法,即利用等离子清洁机对薄膜作适当的处理,使薄膜在恒压电晕极化后表现出良好的电荷存储稳定性。用与集成电路工艺兼容的简单物理方法,使热生长二氧化硅表面具有疏水性,或在其近表面引人电荷陷阱,达到有效提高驻极化电荷稳定性的目的,为集成微音器的制备提供工艺基础。
等离子清洁机处理薄膜的工艺被广泛用于半导体、电子、医疗、机械,印刷、汽车制造等行业,可处理的对象包括光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜、金属薄膜等等,主要目的是清洗有(机)物(活)化和粗化表面,改善表面张力,提高附着力。
诚峰智造利用等离子清洁机处理技术,为手机触摸屏、医药制品、动力锂电池、FPC、石墨烯、声学器件等行业客户提供了相关的等离子表面处理工艺解决方案。处理过的样品包括:PET离型膜、PTFE膜、PI覆膜、PEEK振膜、硅胶薄膜、动力电池电芯铝膜、石墨烯薄膜等。