由等离子体发生器稀有气体形成的DBD等离子体不包含反应性粒子：
       等离子体发生器DBD等离子体是由2个放电电极中起码一个被电介质覆盖而成的等离子体，在2个电极之间施加中频高压交流电，使电极与物质或物质与物质之间的气体形成放电击穿。
       DBD是1种气体放电，将绝缘性物质放入放电空間。介电材料可包覆或悬挂。电极结构的设计形式多种多样。在实际应用中，圆柱形电极结构广泛应用于各种化学反应器中，而平面电极结构广泛应用于工业聚合物、金属薄膜和板材的改性接枝、表面张力的提高、清洁和亲水改性。

       绝缘性物质在放电过程中起着非常重要的作用，使放电均匀分布在整个放电空間中，形成稳定均匀的大气压等离子体。与此同时，由于绝缘性材料的存在，放电时形成的壁电荷有效地限制了放电电流的无限增长，避免了高压下的电弧放电和火花放电。等离子体发生器稀有气体形成的DBD等离子体不包含反应颗粒。因此，当材料表面改性采用稀有气体DBD时，表面基团的引入主要是由于等离子体作用后的材料放置在空气中时，等离子体作用在材料表面形成的大分子自由基与空气中的物质结合而形成的。
       等离子体颗粒与表面原子或分子结合形成挥发性产物，从表面挥发，导致材料表面等离子体腐蚀。等离子体发生器改性技术在材料表面改性方面具有无污染的效果，是一项值得深入研究和广阔应用前景的技术。等离子体发生器表面改性技术在材料科学研究和工业生产中肯定会发挥重要作用。