等离子蚀刻机在等离子体腐蚀过程中，通过特定时间气体，腐蚀性物质会变成气相(例如，使用氟气对硅进行腐蚀)。真空泵抽出气体和基质物质，表面连续覆盖新鲜气体。不想被腐蚀的部分要用材料覆盖(比如半导体行业用铬覆盖材料)。等离子体也可用于对塑料表面进行腐蚀，可用氧来进行填充。腐蚀方法作为塑料印刷和粘接的预处理方法很重要，如POM、PPS和PTFE。等离子体处理可以大大增加粘接和润湿面积。 未经处理，腐蚀和灰化聚四氟乙烯腐蚀不能印刷或粘合。虽然活性碱性金属的使用可以增强附着力，但这种方法不易掌握，溶液有毒。使用CRF等离子蚀刻机不仅可以保护环境，还可以（活）化物体表面，在表面形成活性层，从而达到更好的附着力。 
       在进行塑料粘接、印刷作业时，混合物的腐蚀必须（非）常小心，以免填充物过度暴露，从而削弱粘接力。氧气、氢气和氩气都可以作为气体，适用于PE,PTFE,TPE,POM,ABS和丙烯等材料的蚀刻。

       塑胶、玻璃和陶瓷的表面活性剂和清洁塑料、玻璃、陶瓷、聚丙烯、PTFE都不具有极性，因此应在印刷、粘合和涂布之前进行处理。对玻璃、陶瓷表面的微小金属污染也可用等离子清洗。等离子处理不会损坏样品。与此同时，整个表面处理得很均匀，不会产生有毒烟气，空心样品和有缝隙样品也能处理。不需要用溶剂预处理！所有塑料都可以使用！环保！占用很小的工作空间！成本就像航天一样，用等离子蚀刻机改变其表面性质，使其具有粘接性能，使其在塑料表面上全部湿润。 
       

      两种气体同时通过涂层进入反应舱，气体在等离子蚀刻机里聚合而成。这种应用比（活）化和清洁要求更严格。典型的应用是保护层的形成，用于燃料容器、防刮擦表面、类似聚四氟乙烯材料的涂层、防水涂层等。涂层很薄，通常是几微米，此时表面的亲和力很好，这就是等离子蚀刻机的工作原理，是不是感觉等离机蚀刻机不仅具有精密蚀刻功能，还具有精密清洗功能。