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plasma对高聚物、含氟高聚物等材料的表层改性可通过消融、交联、激活和积累四种方式完成:
消融是鉴于高能粒子对高聚物表层的跃迁，引起弱化学键裂开的环节。该环节只会影响暴露在等离子中的衬底表层比外部分子层的分子层。这些外部分子层与等离子反应产生气化产品后一般来说，表层的化学污染物通常由弱C-H键组成，因此等离子处理可以去除这些污染物。例如，油膜或注塑添加剂等有机物形成均匀、清洁、活性的高聚物表层。
交联是在高聚物分子链之间建立的化学联系。懒惰的气体plasma可用于交联高聚物，形成更稳定的耐磨性或耐化学腐蚀性表层。鉴于等离子引起的交联反应，医疗器械包含医疗软管、临床仪器和隐形眼镜。这种化学反应也可以用氟或氧原子代替高聚物表层的氢原子。氩或氦等懒惰气体，鉴于其化学性质懒惰，不会与表层结合或发生表层化学反应。相反，它们会通过传递能量来打断高聚物链中的化学键。中断的高聚物链生成了一个悬挂键，可以与其活性部分重组，然后形成明显的分子重组和交联。高聚物表层产生的悬挂键容易发生嫁接反应，该技术已应用于生物医学技术。
激活是plasma化学基团替代表层高聚物基团的环节。等离子打断高聚物中的弱键，用plasma中的高活性碱基、羧基和羟基代替；此外，plasma也可以用氨基或其他功能基团激活，结合表层化学基团的类型将决定基础数据功能的最终变化，表面活性基团改变表层性质，如湿度、粘度等。
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