大气式plasma和真空plasma等离子清洗机在下述层面的差异：
1.清洗方式不同
大气式等离子清洗机的喷嘴直射正离子，通过喷嘴的结构间接改变了正离子的运动方向(直接面对被处理的材料)。因而，大气等离子体只能对1个表层做好处理。
在真空plasma等离子清洗机的工作上，腔内的正离子不是定向的，只要材料暴露在腔内，无论哪一面、哪一角都能清洗。

2.使用气体层面不同
大气plasma等离子清洗机工作时只需接入压缩空气，当然想效(效果)更好可以直接接入氮气。大气plasma等离子体清洗机通入气体的目的主要是活性化、增加侵蚀性。在应用层面比较有局限。
真空plasma等离子清洗机在气体上有更多的选择，可以选择多种气体来匹配材料表层氧化物和纳米级微生物的去除。真空plasma等离子体清洗机进入气体的目的是提高蚀刻效果(效果)，去除污染物，去除有机物，提高润湿性等。很明显，真空等离子清洗工艺的选择范围更广，将得到更广泛的应用。
3.使用温度不同
虽然空气中的plasma等离子清洗机虽然在处理材料几秒后的温度在60°-75°之间，但是这一数据是根据喷枪距离材料15mm，功率在500W，与三轴速度120mm/s相匹配。当然，电力、接触时间和处理高度会影响温度。特别要注意的是，大气plasma等离子清洗机喷枪工作时喷出的火焰分为内火焰和外火焰，我们清洗时用外火焰清洗，内火焰在喷嘴中，从外面看不到。但若长时间对某个点喷出“火焰”而不移动，则容易使表层产生灼烧。因而，大气等离子体的温度必须在实际情况下测定具体的数值。
真空plasma型等离子清洗机并不复杂，根据电源频率，以40KHz和13.56MHz为例。通常，材料放入室内工作，频率为40KHz，一般温度为65°下述，机械内部设有强冷风扇，处理时间不长，材料表面温度与室温一致。频率为13.56MHz的话，通常在30°下述。因而处理一些容易受热变形的材料，真空plasma等离子清洗机是再合适不过了。
4.正离子产生条件不同
大气plasma等离子清洗机依靠接入气体，气压在0.2mpa左右才能产生正离子。
真空plasma型等离子清洗机依赖真空泵，在产生正离子之前，即使不接入(何)外部气体，也必须将室内真空度提高到25pa下述才能产生正离子。