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等离子刻蚀机表面清洗原理及优点

      等离子蚀刻机将高频高压施加到放电电极上,形成大量等离子体,与高压聚乙烯外表分子结构可以直接或间接地功用,在外表分子结构链上形成正负官能团,界面张力显着增大,加上粗糙化外表油、水、灰等协同作用,增强其附着力。

等离子蚀刻机具有处理时间短、速度快、操作简单、易于控制等优点。以下是几个方面:
1.等离子蚀刻机的清洗功能:可以去除基体外表的弱键和典型的-CH基有机杂物和氧化物。主要特点:对材料外表起功用,内部无腐蚀,可获得超高洁净度外表,为下一道道环节做好充分的准备。
2.等离子蚀刻机的腐蚀功用:通过典型的气体组合,形成具有具有腐蚀性的的气相等离子体与物块外表的有机物發生氧化还原反应,形成一氧化碳、二氧化碳、H2O等其他气体,从而达到等离子体腐蚀的目的。主要特点:材料工件腐蚀均匀;不损伤工件基体;能有效去除外表异物,达到理想的腐蚀程度。
3.等离子蚀刻机的活化功用:官能团具有稳定的亲水性,对粘结有积极功用。其主要特征:可使聚合物外表形成活性原子、自由基和不饱和键,与等离子体内的活性颗粒發生反應,形成新的活性官能团,增加外表能量,改变外表的化学性质,能有效地增强外表附着力和粘结力。
4.等离子蚀刻机的涂装功能:在等离子蚀刻机的涂装中,两种气体与此同时进到反應室,气体在等离子体的功效下汇聚。这比激活、清洁的应用要求更高。主要特点:可以使材料外表的分子结构链断裂,形成新的自由基、双键等活性官能团,从而在过程中形成交联、分支等反應;活性气体可以在材料外表汇聚形成一层沉积层,沉积层的存在将有效增强材料外表的粘接、涂层和印刷的粘结力。
       伴随着电子信息产业的發展,等离子蚀刻机已成为许多电子信息产业的基本设备。随之制造业技术规范的持续增强,国内等离子清洗技术的發展空間越来越大。

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