以下以氧气plasma等离子体去除物体表面的油污为例，说明这些功能。通过分析可以看出，plasma等离子体对油污的作用与使油污发生燃烧反应相似；但不同之处在于，它是在低温条件下发生的燃烧。氧等离子体中的氧原子自由基、激发状态的氧分子、电子和紫外线的共同作用下将其氧化成水和二氧化碳分子，并将其从物体表面去除。

     可见，用plasma等离子体去除油污的过程是一种使有（机）大分子逐渐降解的过程，形成的是H2O和CO2小分子，这些小分子以气体的形式被去除。另一个特征是，等离子体清洗后，物体已经全部干燥。经plasma等离子体处理的物体表面常形成许多新的活性基团，使物体表面（活）化，从而改变其性能，可大大提高其浸润性和粘附性，这对许多材料很重要。所以等离子清洗有很多湿法清洗所不能与溶剂相比的优点。

       电浆清洗机由真空室，真空泵，高频电源，电极，气体输入系统，产品输送系统和控制系统组成。整个清洁过程大致如下；
1.plasma等离子体清洗过的产品送入真空并固定，启动运行装置，开始排气，使真空室的真空度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间几分钟左右；
2.将等离子清洗用气体引入真空室，保持室内压力稳定。根据清洗材料的不同，氧气、氩气、氢气、氮气、CF4等气体可以结合使用；
3.电极与接地装置在真空室中施加高频电压，使气体被击穿，并由辉光放电产生等离子体，使真空室内产生的等离子体全部覆盖处理过的产品，开始清洗作业。一般的清洗过程可持续数十秒到数十分钟；
4.清洁后切断电源，通过真空泵排出气体和气化污垢。
         大家对plasma等离子体去除物体表面的油污是不是更清楚了。