根据plasma设备中的重粒子工作温度，能把等离子体划分为两种类型，热等离子体和冷等离子体。以3×103K-3×104K，几乎达到了热力学平衡，有着统一标准热力学平衡工作温度，可以通过麦克斯韦的热力学平衡态速度分布，波尔兹曼粒子能量分布，沙哈方程等方式确定等离子体状态和叁数。热等离子体能量密度高，主要运用于材料合成、球化、致密性和涂层防护。

      在低温plasma设备中，重粒子的温度只有室温，而电子温度可以达到成千上万度，因此远离热力学平衡状态，例如辉光放电属于低温等离子体。冷等离子主要运用于等离子蚀刻、沉积和plasma设备表面装饰。电洗涤温度是许多用户关心的问题，电洗涤时，电洗涤火焰看起来也和一般的火焰差不多，而电洗涤设备如采用中频电源，功率大，能量猛，不加水冷工作温度也很高，若洗涤材料不耐温，则需注意工作温度。
       plasma设备的电源常用的是13.56KHz射频电源，它产生的等离子密度高，能量柔软，温度低，通常功率为1~2KW，大功率为5KW，小功率为数百W，多功率为40KHz，中频功率为40KHz，与射频电源相反，电浆密度不高，但功率大，能量高，大功率为几十KW。真空plasma设备放电射频清洁器的温度与平时室内气温也差不多，当然如果整天都在使用真空plasma设备，还是需要加水冷却系统。
       电浆喷射的平均温度介于200至250摄氏度。如果能够正确设定距离和速度，表面温度可以达到70-80℃。本工艺适用于各种标准品(金属、陶瓷、玻璃、塑料、弹性体等)的清洗，一般采用喷射式等离子体清洗装置，也可应用于流水线上的等离子体清洗装置，由于流水线的不断运转，材料在喷嘴下停留时间较长。由于氮气能降低等离子体工作温度，有些喷射plasma清洗也能使用氮。电晕放电需要注意的是，plasma设备中还有一种产品叫做电晕，其实电晕也是等离子体清洗机的一种分类。电晕机的洗涤工作温度通常较高，电晕机与喷射plasma设备的洗涤工作温度相似，有时遇到不耐高温的材料，还会用氮清洗。事实上，没有必要太担心工作温度问题。当前的等离子清洗机能够很好地调温度，使材料清洗达到理想的效果。