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plasma清洗工艺主要适用范围和特性

plasma清洗工艺主要适用范围和特性:
1.plasma清洗:为了提升器具、模具等的性能,需要用等离子体渗透金属表面的氮、碳、硼、碳氮。该方法的特点是,不是在表面入复盖层,而是改变基体表面的材料结构及其性能。在处理过程中,工件温度低,不使工件变形对精密零件很重要。该方法可应用于各种金属基体,主要有辉光放电氮、氮碳渗透、硼渗透。

plasma清洗

2.等离子体在电子工业中的应用:大规模集成电路芯片的生产技术,过去采用化学方式,用plasma清洗方法代替后,不仅降低了工艺中的温度,还将涂胶、显影、腐蚀、除胶等化学湿法改为等离子体干法,使技术更加简单,实现自动化等离子体用于材料表面改性,主要包括以下几个方面:
①改变润湿性(也称为润湿性)。有机化合物表面的润湿性对颜料、墨水、粘合剂等的粘结性、材料表面的闪光电压和表面泄漏电流等电气性能有很大影响。测定润湿性的量称为接触角。
②增强粘合力。用plasma清洗活化气体处理一些聚合物和金属后,可以增强材料和粘合剂的结合强度。缘由多半是聚合物表面的交联提升了边界层的粘合力;或在等离子体处理环节中引入偶极子,提高了聚合物表面的附着强度;也可能是等离子体处理消除了聚合物表面的污垢,改善了附着条件。电晕处理也有同样的效果。

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