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CRF等离子处理设备电源完整性电容退耦解释:
这种方法对于响应进步暂态电流、降低等离子处理设备电源分配系统阻抗都是非常有用的。在电路板制造过程中，大量的电容器通常被放置在负载芯片周围，从能量储存的角度解释电容器的退耦原理。鉴于负载芯片内部晶体管电平转换速度极快，当负载瞬态电流变化时，必须在短的时间内为负载芯片提供满意的电流。但是稳压电源不能很快响应负载电流的变化，因而，I0电流不能立即满足负载瞬态电流的要求，因而负载芯片的电压会下降。但是，鉴于电容电压与负载电压相同，所以电容两端都有电压变化。就电容而言，电压的变化不可避免地会产生电流。这时，电容会放电到负载上，电流Ic不再是0，电流供应负载芯片。
如果电容C满足较大的要求，并且电压变化很小，电容就能满足较大的电流，满足负载态电流的要求。等于把电能的一部分预先储存起来，在需要负荷时就会释放出来，或者说，电容便是储能元件。电力整机储能电容的存在，可以迅速补充负载所消耗的能量，从而保证负载两头电压不会发生过大的变化，这时电容所承担的是部分电源角色。以能量储存的观点来理解等离子处理设备电源退耦，非常直观易懂，但对电路规划帮助不大。以阻抗的观点认识电容的退耦，可以让我们在电路规划中有章可循。在实际应用中，在确定CRF等离子处理设备电源分配系统的去耦电容时，采用了阻抗的概念。
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