决定钻石形核的要素包括等离子体的影响：
一、基体数据
       由于形核取决于基体表面碳的饱和度和到达核心的临界浓度，因此，基体数据的碳分散指数对形核具有重要影响。分散性指数越大，就会越不容易达到成核需要的临界浓度，铁、镍、钛等金属基体直接在这类数据上进行成核是非常困难的；而对于较低碳分散性系数的数据，如钨、硅等，钻石可以快速成核。
二、表面磨削
       一般金刚石的形核都能通过金刚石粉末对表面磨削而推进。利用SiC,c-BN,Al2O3等数据进行的研磨也能促进形核的形成。磨削能促进形核形成的机理主要有两点：一是经过磨削，金刚石微粉的碎屑留在基体表面，起到晶种作用；二是磨削能在基体表面产生许多微小的缺陷，这些缺陷是自发形核的有利方向。研磨数据的格点常数越接近金刚石，增强形核的效果就越好，因此，一般的研磨数据都是用高温高压法制备的金刚石微粉。

三、等离子体参数
        在金刚石形核早期，由于碳向基体的分散，在基体表面形成了界面层，因此研讨指出了等离子体参数对界面层也有重要影响，例如，当硅基体表面堆积金刚石膜时，甲烷浓度对SiC界面层的形成有直接影响。
四、偏压增强形核
       在微波等离子体化学气相堆积中，基体一般都是加负偏压，也就是说，基体的电位与等离子体的低电位有关。负偏压的作用是使基底表面离子浓度增加。偏压太高时，由于过多离子对基体外层和前驱核的溅射，形成了捺形核，因此在偏压增强形核时，偏压的大小更合适。