CRF plasma 等离子清洗机

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CRF-等离子处理机清洗原理、优势和作用分别都有解释

CRF-等离子处理机清洗原理、优势和作用分别都有解释:
       CRF等离子处理机清洗原理:经过化学或物理作用对工件表面进行清理,实现分子水平的污染源去除(一般厚度为几个~几十个nm)。被去除的污染源很有可能为有机物、环氧树脂胶、光刻技术、氧化物、微颗粒污染物等。相应不同类型的污染源,应选择不同的清洗工序。依照清洗原理可分为:物理清洗和化学清洗。

等离子处理机


        CRF等离子处理机的优越性:等离子清洗工序能够获得真正的清洗;与等离子清洗相比,水洗清洗通常只是一种稀释过程;与C02清洗技术相比,等离子清洗不需要耗费其它材料;与喷砂清洗相比,等离子清洗可以处理材料的完整表面结构,而不仅仅是表层突出部分;可以在线集成,无需额外空间;低运行成本,环保的预处理工序。
        CRF等离子处理机作用于材料表面,使表面分子的化学键重新结合,形成新的表面特征。对于某些特殊材料,等离子处理机的辉光放电不仅提高了材料的附着力、相容性和润湿性,而且对其进行了消毒。对于等离子体的处理时间,离子体处理聚合物表面的交联、化学改性和蚀刻主要是由于等离子体断开聚合物表面分子,产生大量的自由基。实验表明,随着等离子体处理时间的延长,放电功率增加,自由基强度增加,达到一定值后进入动态平衡较大,即低温等离子体在特定条件下对聚合物表面反应较深。


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