真空等离子清洗机工作原理：
       等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激(活)状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的。等离子体处理可以被纳入导电、半导电以及非导电的应用中。等离子清洗表面的有效方法是去除杂质、污染物、残留物和有(机)化合物。这一过程被称为微清洗或蚀刻，为提高粘附力提供了另一个重要方面。另外，等离子体处理的表面活(化)很(快)速、有效、经济、环保。

真空等离子清洗机处理产品的的散热方式和改善措施：
　　我们都知道，散热的方式大致有四种：辐射、传导、对流、蒸发。对于真空等离子清洗机的反应腔本体、电极板、托架以及附件的散热，主要是靠传导散热和辐射散热，少量的对流散热。
　　1. 真空等离子清洗机的反应腔室本体一般都是铝或不锈钢的材质，电极板基本上采用铝合金，这两部分在等离子体处理产品的时候吸收了大量的热，不加配套设施的情况下，就会以传导的方式和热射线的形式散发给周围温度较低的物体，例如机台紧固件、外壳和低温空气中。
　　改善措施：给电极和反应腔室增加冷却系统，例如电极采取蛇形管贴附或者中通冰水的方式，可以大大改善散热效(果)。
　　2. 真空状态下气体往往以扩散方式进行，很难形成对流;真空等离子清洗机腔室内的热量，由真空泵带走的也是比较有限。
　　改善措施：加(大)进气量或提高抽速，但要考虑放电的真空度和等离子处理效(果)。
　　其他方面，等离子发生器的选型、功率大小的设定、真空腔室大小和电极结构的设计等，对于散热问题的改善也是有帮助的。