crf等离子清洗机的维护保养原理和方法都有哪些呢？
       随着人们对等离子体清洗的了解越来越多，其应用也越来越广泛，那crf等离子清洗机的维护保养原理和方法都有哪些呢？首先分析一下何为等离子体化学和物理反应。什么是等离子体的化学反应，化学反应中常用的气体有氢(H2)、氧(O2)、甲烷(CF4)等。这些气体在电浆中反应成高活性自由基，会进一步反应材料表面。其反应机制主要是利用等离子清洗机中的自由基与材料表面发生化学反应。当压力较高时，更有利于自由基的产生。因此，如果我们想专注于化学反应，我们必须控制更高的压力来近反应。等离子体的物理反应：主要是利用等离子体中的离子进行纯物理冲击，去除材料表面的原子或附着在材料表面的原子。由于离子在低压下的平均自由基较轻，有能量积累，物理冲击时离子能量越高，冲击越多。因此，如果我们想专注于物理反应，我们必须控制更多的压力进行反应，这样清洁效果更好。由于半导体和光电材料在未来的快速增长，这方面的应用需求将越来越大。维护保养等离子清洗机，常言道，假如1个员工想把工作做好，他必须首先磨利他的工具。1个好的工具通常可以事半功倍。他还说：不管功夫有多高，他都怕菜刀。不管机器有多好，他都应该保养它。所以让我们分享一些常见的维护保养事项：

1.定期检查真空泵油：每月定期检查真空泵的油位和油纯度，观察油位窗口。当油位接近最低红线刻度时，将其添加到油红线上下之间；观察油的颜色。正常油干净透明。当油浑浊（油颜色为灰褐色或油位窗口模糊）时，真空泵噪音异常，应及时更换真空油。
2.清洁反应腔室：首先，用无水乙醇(俗称酒精)擦拭脱脂棉布(不要用乙醇擦拭反应腔观察玻璃)。其次，腔体导入(氩+氧)或(氮+氧)，用等离子清洗机清除腔体内的残留物。每月至少工作10分钟一次。
3.检查输气管道的完整性和真空密封性：定期检查真空系统的完整性，应彻底清洁反应室，避免腔内污染物遗漏。定期检查反应腔门密封条是否松动。检查各管道是否连接紧固、老化。
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