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plasma等离子清洗机-等离子体中影响放电的匹配器

       plasma等离子体清洗机电离不稳定,等离子体发生器阻抗匹配不良。假设反应腔和反应腔(以下简称负载)阻抗和传输线的特性阻抗不相等,在传输过程中会发生反射,有部分能量通过发热等方式损失,而不是所有能量都被plasma等离子体吸收,因此会直接影响等离子表面处理的效果。
      在高频放电回路中,传统的方法是在高频放电回路与等离子腔、电极之间设置阻抗匹配网络,依据不同的电离条件开始调节,使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗相匹配,使等离子体电离稳定,工作效率高。
几个主要因素影响等离子清洗机匹配效果。

 plasma等离子清洗机

      与等离子发生器的配对类似,等离子清洗机的匹配器,两者必须相互匹配,不能用小功率匹配器来适应高功率等离子发生器。此外,为了获得理想的等离子清洗机匹配效果,还须要注意以下几点。
1.在设计plasma等离子体清洗机的反应腔和电极时,应与匹配器供应商充分沟通,以满足等离子体清洗机的匹配要求;
2.plasma等离子清洗机组装匹配器时,应尽可能接近反应室和电极,以缩短连接,降低功耗;
3.气流、真空度、产品材料和处理量等因素都会影响阻抗匹配,须要依据具体情况开始调整。
       以上三点就是plasma等离子清洗机中影响放电的匹配器的详细介绍。


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