大家都知道真空等离子清洗机处理工件的环境是在真空进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染，泄压时可以选择氮气泄压，避免空气泄压对工件的影响，真空等离子清洗机的应用，起源于20世纪初，随着高科技产业的快速发展，其应用越来越广，目前已在众多高科技领域中，居于关键技术的地位。然而市面上等离子清洗机系统有众多的品牌和型号，而等离子清洗技术又对产业经济和人类文明影响很大，在电子资讯工业，尤其是半导体业与光电工业。随着越来越多行业应用到等离子清洗机，那么怎么选择适合自己的等离子清洗机就成为了尤为重要的一个问题，今天我们就来谈谈真空等离子清洗机该如何选型。
       1.真空等离子清洗机的工件大小
       真空等离子清洗是要把工件放入真空清洗腔内进行清洗，选择真空清洗腔尺寸的参考因素是工件的大小和批处理的数量，一般科研型的真空等离子清洗机的腔体是圆柱体的，容积有2L、3L、5L和10L，结合工件的大小和批处理的数量选择适合的真空腔体。
       2.真空等离子清洗机的产能
       任(何)产品如果有产能要求的话，肯定是需要根据产能来选腔体大小，腔体越大也就意味着一次能处理的产品也就更多，如果对产能没有太多要求的话，优先考虑工件大小。在工件能够放下的前提下，我们在根据产能计算得出合适的腔体尺寸。我们还要考虑的问题，就是选择哪种频率的等离子清洗机。
       3.真空等离子清洗机频率的选择
       目前常见的频率有40KHz和13.56MHz，20Mhz。40kHz的自偏压为1000V左右，13.56MHz自偏压为250V左右，20MHz的自偏压则更低，这三种激发频率的机制不同，40kHz发生的反应为物理反应，13.56MHz发生的反应既有物理反应又有化学反应，20MHz有物理反应但更主要的反应为化学反应，需要对材料进行活(化)、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等离子体清洗40kHz的自偏压为1000V左右，13.56MHz自偏压为250V左右，20MHz的自偏压则更低，这三种激发频率的机制不同，40kHz发生的反应为物理反应，13.56MHz发生的反应既有物理反应又有化学反应，20MHz有物理反应但更主要的反应为化学反应，需要对材料进行活(化)、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等离子体清洗。
       4.真空等离子清洗机腔体材质的选择
       目前常见的腔体材质有以下几种，石英腔体，不锈钢腔体，铝合金腔体，三种腔体各有各的优势，石英腔体温度低，且不易发生反应。铝合金腔体的优势：1、 铝合金密度低，强度高，超过优质钢，机械加工性能比较好。 2、 铝具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。 3、材料对化学反应的兼容性比较好，不易产生金属污染、particle等。
       5.真空等离子清洗机真空泵的选择
       是选择国产的泵，还是进口的，是干泵还是油泵，是单级泵，还是双极泵，每一种真空泵的选择都可以根据客户的实际需要来选取，这里就不做过多的赘述。
       6.真空等离子清洗机气路的选择
       常见的真空等离子清洗机都是两路气体通道，但是这并不能满足所有的处理需求，如果需要更多的反应气体，那么气体通道就要适当增加，这个也是根据客户的实际需求来选择几路气体通道。
       7.真空等离子清洗机选择的品牌
       进口等离子清洗产品发展较早，产品较为成熟，但供货时间较长，售后维修服务不及时，产品升级换代较慢，在人性化设计、自动化程度和扩展应用上没有及时更新、升级，且价格较高。 国内等离子清洗市场处于快速发展阶段，各个厂家的产品质量参差不齐，有些厂家缺乏基础研究和应用知识，品牌意识不强，对售后服务不重视，一锤子买卖。

       等洗处理工件归纳起来有两方面的作用——物理和化学。物理作用——利用等离子体里大量的离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子作纯物理的撞击，把工件表面的原子或附着材料表面的原子打掉，清(除)表面原有的污染物和杂质，与此同时会产生刻蚀效应，将工件表面变“粗糙”，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面积，提高工件表面的润湿性能。
       真空等离子清洗仪在发展过程中，不断结合客户的实际需要开发出新的功能， 从功能上来分真空等离子清洗机主要分为手动版和自动版，手动版也叫基础版，价格较为便宜，自动版相对于手动版功能上增加了设置清洗时间、自动泄压、微电脑控制、提供两路进气（以便在清洗的时候通入氧气，所以也有客户把可以通入氧气清洗的等离子清洗机称为氧等离子清洗机），泄压速度可以调节（适用于清洗石墨烯或者金属氧化物粉末），泄压时可以提供氮气泄压的接口等，建议客户在预算充裕的情况下选择自动版本，后期的使用要方便很多。