低温等离子体+光催化技术是指在等离子体反应器中填充TiO2催化剂，当反应器产生的高能量粒子将有机污染物分解成小分子时，这些物质在催化剂的作用下进一步被氧化分解成无机小分子，以达到净化分离废气的目的。光催化剂与等离子体放电之间是相互影响的，催化剂可以改变等离子体放电的性质，使其放电产生氧化性更强的新活性物质；而等离子体放电会影响催化剂的化学组成、比表面积及催化结构，提高其催化活性，大大提升低温等离子体+光催化技术净化VOCs的效率。该组合技术比较适合处理大风量、低浓度的有机废气，具有运行成本低、反应速率快、无二次污染等优点。

       三种低温等离子体处理环境工程污水的方法
       利用低温等离子体技术处理环境工程污水，可在高能电子辐射、臭氧氧化、紫外光分解等多种方法的共同作用下，达到较好的处理效果。
       高能电子作用：
       低温等离子技术在污水处理过程中产生大量的高能电子，通过与废水中的原子和分子的碰撞，将能量转化为基体分子的内能，通过激发、分解、电离等多个过程活跃废水。
新的化合物是通过分解废水中的分子键，并与游离氧和臭氧等活性因子发生反应而形成的。然后，Z将有毒物质转化为无毒物质，并在原污水中降解污染物。
       臭氧氧化作用：
       在污水处理过程中，臭氧作为强氧化剂，使有害物质化合，形成某些中间产物，减少了原污水的毒性和有害物质的含量，经过几次反省，终将受污染物质的有机物质分解成二氧化碳和水。对无机物质，可形成一定的氧化物进行脱除；
       紫外光分解作用：
       利用低温等离子技术，紫外线照射可以单独分解有害物质，也可以与臭氧联合分解。分离分解作用主要是有害的分子物质通过吸收光子进入激发状态，通过吸收能量使分子的分子键断裂，然后与水中的游离物质发生反应，生成新的化合物释放。
紫外线和臭氧的氧化可以同时处理难降解物质，效果更好。难降解有机物和杀虫剂都能被快速分解。