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plasma原子团化学反应在多晶硅工业行业的应用研究：
化学反应即原子或原子团层面的重新组合，需要外界提供必要的反应活化能。相对plasma而言，工业生产的反应物质多呈密集的凝聚态。参加反应气体大多是“高浓度”的致密层，使向反应体系持续传递大的激励能量相当困难，一些需要特大活化能的化学反应在常规技术条件下很难实现。
化学与物理学之间联系紧密分子中电子运动、原子间相互作用力、原子和分子的受激与电离等微观形态，决定了物质的物化性质和化学反应能力。因此应用物理方法使物质的状态发生变化，可导致化学变化或影响化学反应进行。
为此电场向反应室内的气体分子直接传递能量，产生具有足够大能量的电子与气体分子进行非弹性碰撞，将电子的几乎全部能量传递给参加反应的气体分子，使反应室内气体产生大量的光子、电子、离子、自由基以及活性原子激发态原子和活性分子等为其化学反应提供极活泼的活性粒子，从而使得很多化学反应条件变得温和提高化学反应效率。
自然界中物质存在形式有固态、液态及气态，其中固态的组成粒子之间的结合致密，液态次之，气态分散。要实现物质在紧密到分散的聚合态的转化需要提供额外的能量破坏原粒子间较大的结合能。同理，当物质为气态后，继续提供能量组成气体物质粒子发生电离即形成plasma。
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