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crf电晕等离子处理机化学变化在多晶硅工业行业的应用研究：
化学变化即原子或原子团层面的重新组合，要外界提供必要的反应活化能。相对等离子体而言，工业生产的反应物质多呈密集的凝聚态。参加反应气体大多是“高浓度”的致密层，crf电晕等离子处理机使向反应体系连续传送大的激励动能非常困难，某些要特大活化能的化学变化在常规技术条件下很难实现。
化学与物理学之间联系紧密分子中电子运动、原子间相互作用力、原子和分子的受激与电离等微观形态，决定了物质的物化性质和化学变化能力。因而应用物理办法使物质的状态发生变化，可致使化学变化或干扰化学变化进行。
为此电场向反应室内的气体分子直接传送动能，产生具有足够大动能的电子与气体分子进行非弹性碰撞，将电子的几乎全部动能传送给参加反应的气体分子，crf电晕等离子处理机使反应室内气体产生大量的光子、电子、离子、自由基以及活性原子激发态原子和活性分子等为其化学变化提供极活泼的活性粒子，从而使得很多化学变化条件变得温和提高化学变化效率。
自然界中物质存在形式有固态、液态及气态，其中固态的组成粒子之间的结合致密，液态次之，气态分散。要实现物质在紧密到分散的聚合态的转化要提供额外的动能破坏原粒子间较大的结合能。同理，当物质为气态后，crf电晕等离子处理机继续提供动能组成气体物质粒子发生电离即形成等离子体。
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