型号：CRF-APS- 500W

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/13.56MHz

处理高度：1-8mm(MAX)

处理宽幅：120-2000mm(Option)

工作气体：AR+O2

型号：CRF-plasma

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：旋喷式：20-80mm（Option）

工作气体：Compressed Air(0.4mpa)

型号：CRF-APO-1000P

外接电源：220V/AC,50/60Hz,1.5kW

等离子功率：1set*600W/25KHz(Option)

处理高度：5-15mm

处理速度：0-200mm/s

工作气体：Compressed Air(0.4mpa)

型号：CRF-VPO-8L-S

外接电源：380V/AC,50/60Hz, 3kw

射频电源功率：600W/13.56MHz

腔体容量：80L(Option)

腔体层数：8(Option)

工作气体：Ar、N2、H2、CF4、O2

型号：CRF-APO-531W-C

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理速度：0-300mm/s

工作气体：Compressed Air(0.4mpa)

型号：CRF-APS- 500W

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/13.56MHz

处理高度：5-15mm

处理宽幅：120-2000mm(Option)

工作气体：Ar+O2