型号：CRF-APS-500W

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/13.56MHz

处理高度：1-8mm(MAX)

处理宽幅：120-2000mm(Option)

工作气体：AR+O2

型号：CRF-APO-R＆D-RXX

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：旋喷式：20-80mm（Option）

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型号：CRF-APO-R＆D-DXX

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：直喷式：1-6mm（Option）

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型号：CRF-APO-RP1020-D

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：600-1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：旋喷式：20-80mm（Option）

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)

型号：CRF-VPO-8L-M

外接电源：380V/AC,50/60Hz, 3kw

等离子功率：1000W/40KHz/13.56MHz

腔体容量：80L(可定制)

腔体层数：8层(可定制)

工作气体：Ar、N2、H2、CF4、O2

型号：CRF-APO-RP1020-D

电源：220V/AC,50/60Hz

功率：600-1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：旋喷式：20-80mm（Option）

工作气体：Compressed Air (0.4mpa)/N2(0.2mpa)