型号：CRF-APO-RP1020-D

等离子电源：CRF-APO-RP1020-D

等离子功率：600-1000W/25KHz（Option）

喷枪型号：旋喷式：20-80mm（Option）

功率因素：0.98

电源重量：11KG

型号：CRF-USC 0200

工作电压：三相380V 50HZ

工作环境：干燥无尘车间

除尘有效宽幅：100-700mm

变频器设定频率：0~ 60HZ

变频器实时频率：0~ 60HZ

型号：CRF-WBO-RO1200

等离子微波源：2.45GHz，0-1250W

负载冷却方式：循环水冷

真空泵：双级旋叶泵+罗茨泵

设备控制方式：PLC+PC

工艺气体：2路气体可选（CF4,SF6,O2,Cl2,BCI2等）

型号：CRF-APO-500W-C

外接电源：220V/AC,50/60Hz

等离子功率：2set*1000W/25KHz（Option）

处理高度：5-15mm

处理宽幅：50-500mm（Option）

处理速度：0-5m/min

型号：CRF-VPO-8L-S

外接电源：380V/AC,50/60Hz, 3kw

射频电源功率：600W/13.56MHz

腔体容量：80L(可定制)

腔体层数：8层(可定制)

工作气体：Ar、N2、H2、CF4、O2

型号：CRF-APO- 500W-XN

外接电源：380V/AC,50/60Hz

等离子功率：10KW(Max)/ 40KHz(Option)

处理高度：3-8mm(MAX)

处理宽幅：120-1200mm(Option)

工作气体：N2/N2+CDA