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20年专注等离子清洗机研发生产厂家
等离子体清洗方法可以清洗硅片表面的残留物,并且其成本低,劳动量小,工作效率高。接下来详细分析等离子清洗方法在硅片的清洗流程以及工艺参数
1、硅片表面残留颗粒的等离子体清洗方法,它包括以下步骤:首先进行冲洗流程,然后进行该气体等离子体启辉;所用气体选自02、Ar、 N2中的任-种;气体冲洗流程的工艺参数设置为:腔室压力10-40毫托,工艺气体流量100-500sccm,时间1-5s;过程的T艺参数设置为:腔室压力1040毫托,工艺气体流量100-500sccm,上电极功率 250-400W, 时间1-10s;
2、等离子体清洗方法,其特征在于所用气体为02;
3、等离子体清洗方法,其特征在于4 i体冲洗流程的工艺参数设置为:腔室压力15毫托,工艺气体流量300sccm,时间3s;启辉过程的工艺参数设置为:腔室压力15 亳托,工艺气体.流量300sccm,. 上电极功率300W,时间Ss;
4、等离子体清洗方法,其特征在于气体冲洗流程的工艺参数设置为:腔室压力10-20亳托,工艺气体流量100-300sccm,时间1-5s;启辉过程的工艺参数设置为:(腔室压力10-20毫托,工艺气体流量100-300ccm,上电极功率 250-400W,时闾1-5s;
5、等离子体清洗方法,其特征在于气体冲沈流程的I.艺参数设置为:腔室压力15毫托,工艺体流量300ccm,时间3s;过程的工艺参数设置为:腔室压力15亳托,工艺体流量300sccm,上电极 功率300W,时间Ss等离子清洗涉及刻蚀工艺领域,并且完全满足去除刻蚀工艺后硅片表面残留颗粒的清洗.
等离子体清洗方法在刻蚀过程中,颗粒的米源很多:刻蚀用气体如C12、HBr、CF4等都具有腐蚀性,刻蚀结束后会在硅片表面产生一定数量的颗粒:反应室的石英盖也会在等离子体的轰击作用下产生石英颗粒:反应室内的内衬也会在较长时间的刻蚀过程中产生金属颗粒。刻蚀后硅片表面残留的颗粒会阻碍导电连接,导致器件损坏。因此,在刻蚀工艺过程中对颗粒的控制很重要。
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