一、真空和大气等离子体刻蚀机的区分
       由于不同机制和条件下产生的等离子体具有不同的能量密度、气体温度、颗粒成分和电离度，聚合物材料的表面机理和效果也不同。但是，不论等离子体是如何产生的，聚合物材料表面改性通常包括等离子体聚合物和等离子体刻蚀机表面处理。

二、等离子体刻蚀机中的等离子体聚合物
       等离子体聚合物是等离子体状态下聚合物气体形成的具有化学活性的基体，其中活性粒子在聚合物材料表面进行了等离子体聚合物。传统上认为聚合物是分子单元通过聚合物过程连接在一起，聚合物的化学结构可以由单体的化学结构决定。等离子体聚合物气体在辉光放电等离子体状态下进行聚合物，而不是分子聚合物，而是原子聚合物。单体中的某些元素和碎片不能进入沉积物中，但由于是原子聚合物，它对维持等离子体辉光放电形成聚合物具有重要作用。等离子体聚合物的结果在材料表面形成一层薄膜，这种等离子体聚合物形成的薄膜坚固、均匀、薄、致密、无针孔，结构上是高度交联的无定形态，具有优异的机械、电、光学和化学特性，用途广泛。
       不同于通常的热氧化反应，等离子体刻蚀机通电产生的等离子体表面的氧化反应在反应过程中产生大量的自由基，在连锁反应中产生自由基。不但能吸引大量的含氧基团，如羧基(COOH)、团聚物(C=O)、羟基(OH)等；而且由于氧气对材料表面的氧化分解，还能产生腐蚀作用，亲水性明显提高。各种材料引入的基团数量和形式各不相同。此外，CO2、CO、H2O和空气中的一些含氧气体也可以在等离子体状态下分解成原子氧，这也是氧等离子体的功能。