等离子表面处理是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗、刻蚀产生等离子表面处理的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子问距及分子或离子的白由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子表面处理，同时会发生辉光。等离子表面处理在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。
      与传统使用有机溶剂的湿法清洗相比，等离子表面处理具备以下几大优势:
      1.清洗对象经等离子表面处理之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率;
      2.采用无线电波范围的高频产生的等离子表面处理与激光等直射光线不同。等离子表面处理的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。
      3.等离子表面处理需要控制的真空度约为100Pa，这种清洗条件很容易达到。因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺;

      4.等离子表面处理使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题。

      5.避免使用工氯乙烷等ODS有害溶剂，这样清洗后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。这在全球高度关注环保的情况下越发显出它的重要性！
      6.等离子表面处理可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物)都可以使用等离子表面处理米处理。
      7.使用等离子表面处理，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生;
      8.使用等离子表面处理，可以使得清洗效率获得极大的提高。整个清洗工艺流程几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点;
      9.在完成清洗去污的同时，还可以改善材料不身的衣面性能。如提高表面的润湿性能、善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。
      目前等离子表面处理应用越来越广泛，国内外的使用者对等离子体清洗的要求也越来越高。好的产品还需要专业的技术支持与维护。