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20年专注等离子清洗机研发生产厂家
Plasma清洗机采用多种工艺气体。氧气、氢气、氮气和压缩空气通常用于表面清洁和活化，但氩气也可以根据不同的工艺要求使用。
那么，为什么要使用这种气体呢？它在Plasma清洗中的主要功能是什么？今天就和大家分享一下氩在真空等离子体清洗机中的应用知识，供大家参考。
一、概述
氩简称氩，英文名为Argon，化学风格为Ar，是一种无色无味的惰性气体。它通过高压气瓶运输和储存，主要用于金属电弧焊和工业切割保护。
氩是一种惰性气体。离子体电离后产生的离子不会与基底发生化学反应。在等离子体清洗中，主要用于基体表面的物理清洗和表面粗糙化。最大的特点是用于表面清洗。精密电子设备的表面不会氧化。正因为如此，氩等离子体清洗机在半导体、微电子、晶圆制造等行业得到了广泛的应用。
二、辉光放电的颜色
真空Plasma清洗机中氩气电离产生的等离子体是暗红色的。在相同的放电环境下，氢气和氮气产生的等离子体颜色为红色，但氩等离子体的亮度低于氮气，高于氢气，容易区分。
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