等离子表面处理的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看，等离子体清洗通常包括以下过程∶无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面﹔被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相﹔反应残余物脱离表面。
       等离子表面处理技术的特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚腊、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。等离子表面处理是有效的对表面进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一，可以用于处理各种材料，包括塑料、金属或者玻璃等。

       等离子表面处理对表面清洗，可以有效清除表面上的脱模剂和添加剂等，而其活化过程，则可以确保后续的粘接工艺和涂装工艺等品质，对于涂层处理而言，则可以进一步改善复合物的表面特性。使用这种等离子技术，可以根据特定的工艺需求，高效地对材料进行表面预处理。
       等离子表面处理技术在塑料表面改性原理
       等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键;但远低于高能故射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能。处于非热力学平衡状态下的等离子表面处理中，电子具有较高的能量，可以断裂材料表面分子的化学键提高粒子的化学反应活性(大于热等离子体)，而中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。
       等离子表面处理机体积小，重量轻，价格实惠，广泛应用于印刷包装行业，光电制造行业，汽车制造行业，金属及涂料行业，陶瓷表面处理，电缆行业，窄塑料表面，数码产品表面，金属表面处理。